高精度掩模制作

线宽最小2微米（接收L-edit制图版本）

3寸 1200元/片

4寸1500元/片

3寸 1500元/片

4寸 1800元/片

SU8微流控芯片模具加工（自带掩膜，小于1:1高宽比，线宽大于2微米）

3-40微米的高度，每片2000元，光胶40-80微米的，每片3000元，80-150微米的，每片3500元。多层套刻，每层加收2000元。

3-40微米的高度，每片2500元，光胶40-80微米的，每片3500元，80-150微米的，每片4000元。多层套刻，每层加收2500元.

PDMS微流控芯片加工（自带模具）

PDMS微流控芯片视打孔情况，一般<50孔，每板校内800元（小于6块），校外1000元（小于6块）。具体再议。

备注

对于长期合作用户，以双方议定价格为准。

对于制作设计复杂加工难度大的掩模，价格由双方商定。