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载能离子在材料中会产生能量沉积效应和质量沉积效应，分别可以用来改变材料结构（加工）和元素组成（离子注入）。本课题组重点研究如下内容：1）基于离子束的二维材料纳米孔制备技术，以及多孔石墨烯在物质分离、分子检测以及能量收集等领域的应用；2）超低能离子注入技术及对二维材料、纳米材料的注入掺杂，研制了超低能离子注入系统，成功实现了对石墨烯等材料的B/P/Si等多种元素的可控掺杂，并将上述掺杂样品应用在传感器等领域；
薛建明
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Gender: Male
Education Level: With Certificate of Graduation for Doctorate Study
Administrative Position: 所长
Alma Mater: 北京大学
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载能离子加工纳米结构及器件