彭士香
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论文成果
A miniaturized ECR plasma flood gun for wafer charge neutralization
发布时间：2020-05-20点击次数：
影响因子：
1.584
DOI码：
10.1063/1.5128522
所属单位：
北京大学
发表刊物：
Rev. Sci. Instrum
刊物所在地：
美国
关键字：
plasma flood gun (PFG)，miniaturized ECR，wafer charge neutralization，no metallic contamination, limitless lifetime
论文类型：
期刊论文
学科门类：
理学
一级学科：
物理学
文献类型：
J
卷号：
91, 033319
是否译文：
否
发表时间：
2020-05-20
收录刊物：
SCI、EI
附件：